国产最新光刻机达到什么水平？这几点核心突破很关键

最近这段时间，关于咱们国产光刻机到底进展到哪一步了，网上那是吵翻了天。作为一名喜欢盯着半导体行业动态、手里拆过不少旧机器的老师傅，我这段时间也没少折腾。我专门托朋友找了几份半导体产业链的内部调研报告，甚至跑了一趟在长三角搞精密机械加工的老战友那儿，把这些信息凑在一起，心里总算有了个数。今天我就不整那些虚头巴脑的PPT参数，直接从我这段时间实地摸排和打听到的几个“硬骨头”突破，跟哥几个掏心窝子聊聊。

是光源系统的“脱胎换骨”

我之前带徒弟修过老款的投影曝光设备，那玩意儿最核心的就是那个发光的“灯泡”。以前咱们的光源不稳定，功率稍微高一点，那光束就跟喝醉了一样乱晃。但这回我打听到的实锤是，咱们在准分子激光光源上有了质的飞跃。咱们不仅仅是把功率堆上去了，关键是做到了“稳如老狗”。这意味着在长时间的高强度作业下，光束的波长偏差能控制在极小的范围内。我听在那边做封装的朋友说，现在这套系统跑起来，废片率比前两年降了不是一星半点，这说明咱们在最基础的“光源源头”上，已经不再被别人牵着鼻子走了。

双工作台系统的“神仙打架”

搞过数控机床的朋友都知道，一边动一边测那是真难。光刻机最牛的地方就是两个工作台，一个在曝光，另一个在那预定位。以前咱们这块的精度总是差那么一口气，总觉得对不准。这回我重点看了一下最新的几个测试记录，咱们在高真空环境下，利用磁悬浮技术让这两个工作台实现了惊人的“同频”。就是说，当一个片子还在里面被激光“雕刻”的时候，另一个片子已经停在了精确到纳米级的位置候着了。这种丝滑的切换，直接把生产效率提了上来。这不是靠堆人力能堆出来的，这是实打实拿磨坏了无数个精密轴承换回来的技术突破。

也是最玄学的镜片组加工

我老战友就是搞超精密抛光的，他跟我说了一句实话：以前咱们的镜片，表面看着平，放大看全是“大坑”。光线射过去，折射回来的路径乱七八糟。但现在咱们的离子束抛光技术已经能把镜片表面修整到只有原子级别的起伏。这就好比是在一整个太平洋的湖面上，不能有超过一厘米的波浪。这种镜片组装进光刻机里，光路才不会散。我当时听完就在想，这帮搞材料的兄弟肯定在实验室里熬废了无数个通宵。现在咱们能达到成熟制程的稳定量产，就是靠这些一点一滴的硬功夫给顶起来的。

折腾这一圈下来，我的感慨挺深的。很多人总觉得咱们跟最顶尖的那家差距还很大，天天在那儿长他人志气。我倒是觉得，这种事儿急不来。想当年我刚入行的时候，连个稍微精密点的电机都要进口，稍微出点故障就得求爷爷告奶奶等老外发零件。现在咱们能在那几个卡脖子的地方硬生生啃下几块肉来，这本身就是个奇迹。虽然目前的水平还没到那种横扫天下的地步，但在关键的成熟制程领域，咱们已经能挺直腰板说话了。那些想看咱们笑话的人，恐怕得失望了，因为咱们最擅长的就是把高不可攀的东西，做成“白菜价”的基石。这几点突破只要稳住了，后面的路，越走越宽只是时间问题。